廢水類型:超純水處理
項目示例:無錫超純水處理工程
設(shè)計水量:1m3/h
廢水危害:最近幾年超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了快速發(fā)展,對超純水的水質(zhì)提出了更高的要求,超純水中所含雜質(zhì)的允許含量越來越低,同時需要控制的雜質(zhì)種類也越來越多。為了有效去除各種雜質(zhì),需要各種處理手段的綜合運用。
基本流程圖:
通常我們超純水系統(tǒng)分為三部分:預(yù)處理,初級處理和拋光精制處理。
1.預(yù)處理系統(tǒng)通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成;
2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設(shè)備等組成
3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。
超純水處理主要是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理
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